GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统，其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里，移动柜最大可以承?000Lbs，所以在与本公司大多数管式炉配套使用时，可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上，同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验、/p>
产品型号 |
GSL-LCD(控制面板为触摸屏（/p> |
技术参?/strong> |
功能 |
双通道 |
三通道 |
四通道 |
五通道 |
|
质子流量控制?/p> |
工作温度??5?C
最大压劚3x106 Pa
精度: 1.5% FS
线? ?.5-1.5?F.S.重复精度: 0.2%F.S.
流量范围:
一?1?99 SCCM
二路:1?99 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用 |
工作温度??5 ?C
最大压劚 3x106 Pa
精度: 1.5% FS
线? ?.5-1.5?F.S.
重复精度: 0.2%F.S.
流量范围:
一? 0?00 SCCM
二路: 1?99 SCCM
三路: 1?99 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用 |
工作温度: 5?5 ?C
最大压劚3x106 Pa
精度: 1.5% FS
线? ?.5-1.5?F.S.重复精度: 0.2%F.S.
流量范围:
一? 0?00 SCCM
二路: 1?99 SCCM
三路: 1?99 SCCM
四路: 1?99 SCCM
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用 |
工作温度: 5?5 ?C
最大压劚 3x106 Pa
精度: 1.5% FS
线? ?.5-1.5?F.S.
重复精度: 0.2%F.S.
流量范围:
一? 0?00 SCCM
二路: 1?99 SCCM
三路: 1?99 SCCM
四路: 1?99 SCCM
?九路可按照客户要求定刵/p> |
产品规格 |
外形尺寸?00mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) |
输入电源 |
AC 220V/50Hz单相 |
功率 |
23W |
PLC触摸屎/strong> |
各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏三/p> RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上，进行远程控刵/p>  
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机械压力?/strong> |
有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接 量程:-0.1?.15 MPa (0.01 MPa/grid) |
针阀 |
316 不锈钡/p> |
通气管道 |
内部连接管道?/4”不锈钢箠/p> 外部通气管道?/4”聚四氟箠/p> 
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混气罏/strong> |
80X120mm |
截止阀及配仵/strong> |
316不锈钢针阀 1/4 不锈钢管 |
