混气系统3路质子GSL-3Z是用于控制一种到三种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响，在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器、/p>
产品型号 |
混气系统3路质子GSL-3Z |
主要特点 |
精度高，运行稳定可靠，工作压力范围宽，可在高压或真空条件下工作，且操作使用方便、/p> |
技术参?/strong> |
1、电源：185-245V 50Hz 2、最大输出功率：18W 3、控制范围：控制?—?-100SCCM、控制器2—?-199SCCM、控制器3—?-499SCCM 5、准确度?#177;1%FS 6、线性：0.5-1.5% 7、重复精度：0.2%FS 8、响应时间：气特?-4s，电特?0s针阀?16不锈钡/p> 9、工作压差范围：0.1-0.5 MPa 10、压力表测量范围?0.1-0.15MPa?.01 MPa/grid（/p> 11、混气罐?#216;80mm120mm 12、截止阀?#216;1/4″，316不锈钢针阀 13、工作温度：5-45ℂ/p> |
产品规格 |
尺寸?00mm600mm650mm |
