安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温�?5℃�?5℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用、�/p>

1、水：不需�?/p>

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头（�/p>

4、工作台：尺�?00mm×600mm×700mm，承�?00kg以上

5、通风装置：需�?/p>

主要特点

炉体结构

炉膛采用高纯氧化铝纤维材料，****减少能量损失、�/p>

高度可调的不锈钢外壳、�/p>

背部可以调整的三个旋钮，灵活改变炉子的垂直位置（从控� 盒平台到炉膛下端）、�/p>

多种配置适用于各种热处理需求、�/p>

多种位置可调 可用作立式马弗炉 固定旋钮进行位置可调

认证

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证、�/p>

质保朞�/strong>

一年保修，终身技术支持、�/p>

特别提示９�/p>

1.耗材部分如加热元件， 石英管，样品坩埚等不包含在内、�/p>

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成 的损害不在保修范围内、�/p>

技术参�?/strong>

1、电压：AC220V, 50Hz

2、最大功率：1.5KW

3、加热区�?00 mm

4、工作温�? 1000ℂ�/p>

5、最高温�? 1100℃（小于30min（�/p>

6、推荐升温速率:�?0�?min

7、炉管尺寸及材质

石英管�?0×610mm、�/p>

包括氧化铝管堵用于阻止来自内部管子的热辐射。（管堵在加热前必须完全插入炉腔（�/p>

8、温控系绞�/p>

全自动PID自整定功胼�/p>

30 段可编程控制器，方便客户按自己要求设定升温曲纾�/p>

设有超温及断偶保抣�/p>

控温精度: ±1 ℂ�/p>

K型热电偶

9、加热元件：掺钼铁鉻铝合釐�/p>

10、密封法兰及真空连接

不锈钢密封法�?左端进气 口为1/4”软管接�? 右端抽气口为KF-25接口)

标准�?/4“带针阀� 宝塔嘴接叢�/p>

为了可以使用高压气体，您可以�?/4＂软管接头替换标准宝塔嘴管接夳�/p>

11、真空系绞�/p>

包括双旋片机械泵(220V, 226 L/m) 油雾过滤�?amp; KF-D25不锈钢真空波纹管和KF25 卡箍

真空度可达到1E-2 Torr ( 50 m-torr)（参考值）

分子泵：1E-5 Torr（参考值）

12、压力测�?检测：机械式压力表，测量压力范围为-0.1�?.15Mpa、�/p>

产品规格

260×380×400 mm (D x H x W)

重量�?5Kg

可选配仵�/strong>

1� 石英管堵（可提高炉管内部真空度及洁净度）、�/p>

2、欧陆型温控仪表，控温精确度可以提升到�?.1℃（具体详情电询我公司销售）、�/p>

3、两种不锈钢法兰可供选择９�/p>

2"默认法兰，带1/4”宝塔嘴接头�?/4＂管通孔（用�?/4＂外径热电偶插件）和KF25真空�?/p>

1＂法兰没有热电偶插头

4、挡板阀连接真空系统

5不锈钢波纹管（为了获得更快更好的真空度，我们推荐使用（�/p>

6、快速连接法�?/p>

7、带有数显真空计和机械泵系统的炉孏�/p>

8、KF25转接头替换标准宝塔嘴接头（为了达到高真空（�/p>

1英寸法兰 2英寸法兰

9、真空连接：

本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10^-5�?125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换、�/p>

KF25不锈钢波纹管

KF25快速装卸卡箌�/p>

10、真空系绞�/p>

应用注意事项

炉管内气压不可高�?.02MPa

由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公 司选购减压阀，本公司减压阀量程�?.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

当炉体温度高�?000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状�?/p>

进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击