生长纳米线CVD炉OTF-1200X-4-NW是一种紧凑型CVD炉,专为生长各种纳米线而设计,基片最?″。在法兰的左侧装有一个小加热器,可对输入的气体、液体、固体进行预加热后进 CVD 炉进行纳米线的生长。其可滑动的样品架使操作更为简单、/p>
产品型号 |
生长纳米线CVD炉OTF-1200X-4-NW |
| 安装条件 |
本设备要求在海拔1000m以下,温?5?#177;15℃,湿度55%Rh10%Rh下使用、/p> 1、水:不需?/p> 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源 4、工作台:尺?600mm600mm700mm,承?50kg以上 5、通风装置:需?/p> |
主要特点 |
1、由OTF-1200X-4单温区炉演变而来的紧凑型CVD炉、/p> 2、内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命、/p> 3、带样品支架的右法兰是滑动的,方便样品的快速取放、/p> 4、左侧的小加热器可对输入CVD 炉的气体、液体、固体或混合物进行预加热,不锈钢加热腔外?0mm、长150mm,最高工作温?00℃、/p> 5、左边法兰(在加热器与CVD炉之间)装有4?/4″卡套连结的通气管,具有密封和气体通道的作用、/p> 6、PID自整定数字控制器,可以设?0段升降温程序、/p> 7、选配相关软件可用计算机进行控温、/p> 8、已通过CE认证、/p> |
技术参?/strong> |
1、额定电压:单相AC 220V 50Hz/60Hz 2、额定功率:3KW(需20A的空气开关) 3、石英管:外管外?#216;110mm,内?#216;102mm,长381mm 4、加热区域:CVD?00mm,加热器150mm 5、工作温度:CVD炉最?100℃(<2h),连续工作200?1000℃,最大升降温速率10?min:/p> 加热器连续工?-500℃,最大升降温速率10?min 6、控温精度:1ℂ/p> 7、热电偶:K垊/p> 8、右法兰:一?″石英样品支架,与石英挡板、法兰连成一体,设有KF25真空快接口,以及水冷接口(可 配水冷机,避免O型圈融化(/p> 9、左法兰:有2个独?/4″口,可单独将任何气体通入炉内,一?/4″口将预热气体通入CVD炉,一?/4″口 将不加热的气体通入炉内,并通过炉内的T型结构与加热气体汇合 |
产品规格 |
尺寸?200mm450mm510mm;重量:100kg |
可选配仵/strong> |
1、水冷机 2、控温软仵/p> |