产品型号

开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV

本设备要求在海拔1000m以下，温�?5�?#177;15℃，湿度55%Rh��10%Rh下使用、�/span>

1、水：不需�?/span>

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好�?/span>�?/span>

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台：尺�?00mm��600mm��700mm，承�?50kg以上

5、通风装置：需�?/span>

主要特点

1�?/span>友�/span>层壳体，配有循环风冷系统，壳体温�?/span><60℃、�/span>

2�?/span>内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高加热效率，同时延长使用寿命、�/span>

3�?/span>釆�/span>�?/span>PID控制�?/span>，可以设�?/span>30段升降温程序、�/span>

4�?/span>设有超温及断偶报警功胼�/span>、�/span>

5�?/span>已這�/span>迆�/span>CE认证、�/span>

技术参�?/span>

1�?/span>电源９�/span>AC220V50/60Hz 2.5KW

2、石英管：外徃�/span>?80mm，内徃�/span>?75mm，长1000mm

3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝

4、加热区域：440mm

5、恒温区域：150mm

6�?/span>工作温度９�/span>最髗�/span>1200ℂ�/span>＋�/span>连续工作1100ℂ�/span>

7、最大升降温速率９�/span>20ℂ�/span>/min

8、控温精度：��1ℂ�/span>

9、真空度９�/span>5.5��10^-3torr（机械泵），10^-4torr（分子泵（�/span>

10、泄漏率９�/span><5mtorr>

11、浮子流量计９�/span>3个；10ml/min-100ml/min＋�/span>16ml/min-160ml/min＋�/span>25ml/min-250ml/min

12、压力表９�/span>4�?/span>

产品规格

尺寸：管式炉550mm��380mm��520mm，混气系绞�/span>600mm��600mm��597mm；重量：60kg