PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为 ?8.5"12"的石英腔体，采用的射频电源功?- 100W连续可调节，采用的射频为13.56MHz。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。在单晶材料外延薄膜生长以前对其进行预处理，将对生长具有显著的作用。PCE-8等离子清洗机配有一个直连式双旋真空泵，可对腔体进行抽真空，同时通入氩气等保护气体，适用于对易氧化的物品的清洗、/p>
产品型号 |
PCE-8等离子清洗机 |
主要特点 |
1、采?"彩色触摸屏，可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等、/p> 2、内部配?-500mm/min的质量流量计，可以精确地控制进气流量、/p> |
技术参?/strong> |
1、电源：AC220V 2、射频功率：最?00W，可?-100W间调芁/p> 3、真空泵功率９500W 4、总功率：<600W 5、射频：13.56MHz 6、等离子腔体：高纯石英腔体，外径?8.5"，内?#216;8.2"，长12"，采用铝制折叠式法兰进行真空密封，法 兰设有一?#216;60mm的观察窗叢/p> 7、极限真空度?0mtorr 8、通入气体：可通入多种气体，如N2、Ar、Air、H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定） |
清洗及蚀刺/strong> |
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产品规格 |
尺寸?20mm450mm600mm |
可选配仵/strong> |
1?00W?00W射频电源（进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验） 2?"-6"石英舟（盛放基片（/p> 3?-4通道浮子混气系统 4?-4通道质子混气系统 5、直连式双旋真空泵（240L/min（/p> 6、KF25波纹箠/p> 7、KF25手动挡板阀 |
