产品名称

PCE-6V小型等离子清洗机

产品型号

PCE-6V

主要特点

1、采用气体作为清洗介质，避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染、�/p>

2、可短时间内彻底清洗掉有机污染物、�/p>

3、清洗程度可达到分子级、�/p>

4、可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能、�/p>

5、清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌、�/p>

6、样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻、�/p>

7、广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域、�/p>

技术参�?/strong>

1、电压：AC220V 10A

2、消耗功率：<500W（包括真空泵（�/p>

3、RF电源：输出功�?00W，输出频�?3.56MHz

4、腔体：?190mm��98mm

5、石英管�?#216;180mm��55mm，壁�?mm

6、内腔：?165mm��55mm

7、清洗电极：?120mm

8、样品台�?#216;150mm，有效尺�?#216;140mm

9、样品台与电极间距：15mm-50mm可调

10、抽气管�?#216;12mm

11、极限真空度�?.1Pa

12、工作真空度�?0Pa-500Pa

13、气路数量：2路（选装（�/p>

14、流量控制器数量�?�?

15、流量显示仪�?通道

16、气路接口：?6mm

17、加热样品台�?#216;100mm，加热样品温�?00�?500℃（选装（�/p>

18、冷却水压力�?.2KPa-0.4KPa

19、工作环境：温度5�?35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m

产品规格

尺寸�?45mm��235mm��460mm（不含真空泵），重量�?0kg（不含真空泵（�/p>

可选配�?/strong>

1、加热样品台

2、流量控制器（量�?0�?0�?00，可增加通道数≤2（�/p>