产品型号

SE-Mapping光谱椭偏�?/p>

主要特点

1、全基片椭偏绘制化测量解决方桇�/p>

2、支持产品设计以及功能模块定制化，一键绘制测野�/p>

3、配置Mapping模块，全基片自定义多点定位测量能劚�/p>

4、丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力

5、采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)

6、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采雅�/p>

7、具备全基片自定义多点自动定位测量能力，提供全面膜厚检测分析报呉�/p>

8、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材斘�/p>

技术参�?/strong>

1、自动化程度：固定角+ mapping

2、应用定位：检測型

3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R等光谰�/p>

4、分析光谱：380-1000nm(可扩�?93-2500nm)

5、单次测量时间：0.5-5s

6、重复性测量精度：0.01nm

7、光斑大小：大光�?-3mm,微光�?00um

8、入射角调节方式：固定角

9、入射角范围�?5��

10、找焦方式：手动找焦

11、Mapping1程：300x300mm

12、支持样件尺寸：最大至300mm

可选配仵�/strong>

3

真空泴�/p>

4

透射吸附组件