椭偏在线监测装备针对LCD、OLED等新型平板显示量光学薄膜质量控制需要，专门设计的在线薄膜测量系统。可适用于空气、N2、真空等环境条件，自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的全片快速扫描测量。椭偏在线监测装备广泛应用于工业中新型光电器件行业所涉及的PI配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有?无机封装薄膜大基片各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的在线式全片快速扫描测量、/p>
产品型号 |
PMS 椭偏在线监测装备 |
主要特点 |
1、支持产线大基片自定义多点扫描测量并输出报告 2、支持最?93-2500nm全波段分析测野/p> 3、支持多椭偏方案，多组合集成 4、支持测头模块以及样件机台定制化 |
技术参?/strong> |
测头规格 |
穆勒矩阵椭偏测头 |
光谱椭偏测头 |
反射膜厚测头 |
自动化程?/p> |
可变/固定? mapping |
可变/固定? mapping |
垂直? mapping |
应用定位 |
高阶高精度型 |
高精度型 |
通用垊/p> |
单次测量时间 |
0.5-5s |
小于1s |
分析光谱 |
380-1000m(支持扩展?93-2500nm) |
380-1100nm |
Mapping行程 |
支持行程定制匕/p> |
支持样件尺寸 |
安需定制匕/p> |
