SE-VM 是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可通过椭偏参数 透射/反射率等参数的测量，快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析，适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度，微光斑，可视化调平系统等高兼容性灵活配置，多功能模块定制化设计、/p>
高精度椭偏测量解决方案；超高精度、快速无损测量；支持多角度、微光斑、可视化调平系统功能模块灵活定制；丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力、/p>
广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应?实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析、/p>
产品型号 |
SE-VM光谱椭偏?/p> |
主要特点 |
1、采用高性能进口复合光源，光谱覆盖可见到近红外范 (380-1000nm) 2、高精度旋转补偿器调制、PCRSA配置，实现Psi/Delta光谱数据高速采雅/p> 3、支持系列配置灵活，可根据不同应用场景支持多功能模块化定刵/p> 4、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材斘/p> |
技术参?/strong> |
1、自动化程度：手动变觑/p> 2、应用定位：通用垊/p> 3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谰/p> 4、分析光?80-1000nm(可扩?10-1650nm) 5、单次测量时间：0.5-5s 6、重复性測量精度：0.01nm 7、光斑大小：大光?-3mm,微光?00m 8、入射角调节方式：手动变觑/p> 9、入射角范围?5-75(5步进),90 10、找焦方式：手动找焦 11、Mapping行程：不支持 12、支持样件尺寸：最大至180mm |
可选配仵/strong> |
1 |
温控?/p> |
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2 |
Mapping扩展模块 |
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3 |
真空泴/p> |
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4 |
透射吸附组件 |
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