产品名称

GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪

产品型号

GSL-1100X-SPC-16

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温�?5�?#177;15℃，湿度55%Rh��10%Rh下使用、�/p>

1、水：不需�?/p>

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯�?9.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀（�/p>

4、工作台：尺�?00mm��600mm��700mm�?承重50kg以上

5、通风装置：不需�?/p>

主要特点

1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态、�/p>

2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得**的镀膜效果、�/p>

3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象、�/p>

4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用、�/p>

5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净、�/p>

6、已通过CE认证、�/p>

技术参�?/strong>

1、电源：220V

2、总功率：<2000W（包括真空泵（�/p>

3、真空室�?#216;160mm��120mm

4、样品台�?#216;50mm，且高度可调，可同时进行8个SEM样品的镀膛�/p>

5、max均匀镀膜：?45mm

产品规格

尺寸�?00mm��300mm��400mm；重量：30kg

标准配件

1

金靶杏�/p>

1�?/p>

2

进气针阀

1�?/p>

3

保险东�/p>

2�?/p>

可选配仵�/strong>

金、铟、银、铂等各种靶杏�/p>