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原料、中间体、气佒/a> >
刻蚀涱/a>
?钨蚀刻剂TiW-30
品牌:
Transene
包装:
4L
产地:
美国
索取资料及报件/span>
产品名称
TI-TUNGSTEN ETCHANT TiW-30
产品介绍
钛—钨TiW?0
说明
钛—钨
TiW?0是微电子产品中钛—钨粘结层的选择蚀刻剂。TiW?0能有效地蚀刻沉积在铜、氮化硅和氧化硅上的钛—钨薄膜。TiW?0蚀刻的线路轮廓清晰、蚀刻速率可控。与阴、阳性光刻胶具有广泛的匹配性、/span>
性质
外观
水白艱/div>
蚀刻速率+span >25ℂ/span>
10}span >15
?/科/div>
操作温度
25}span >40ℂ/span>
冲洗
去离子水
贮存
0ℂ/div>
有效朞/div>
?span >25℃,2个月
?span >0℃,6个月
应用
钛—钨
TiW?0是专门设计用来去除二氧化硅和氮化硅等基板上钛—钨合金粘结层的使用方便的溶液。TiW?0不浸蚀铜膜。将此蚀刻剂加热?0℃会加快对厚膜的蚀刻速率、/span>
烟台科瑞尔化学科技有限公司
电话:
点击&查看
0535-6350522 15201368992
联系亹 杨先甞/span>
地址: 山东省烟台市芝罘区海港路29?506宣/span>
参观公司展位
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