(用于微型电å线路) 金蚀刻剂用于选择蚀刻金和阴，阳性光刻胶都有良好匹é…性。用在膜电å产å“ä¸åˆ¶ä½œçº¿è·¯å…ƒä»¶ã€‚ 特点 ·蚀刻易于控制，边下蚀低，蚀刻线精细 ·室温æ“作 ·蚀刻速率å‡åŒ€ ·价钱低廉 金蚀刻剂TFA é«˜çº¯åº¦ï¼Œä½Žé’ å«é‡ï¼Œ0.2微米级过滤，用于微型电å产å“ï¼Œèš€åˆ»é‡‘å’Œé• é‡‘èš€åˆ»å‰‚TFAC ç”¨äºŽç ·åŒ–é•“å…¶ä»–é‡‘å±žé—´åŒ–åˆç‰©åŠåŠå¯¼ä½“的选择蚀刻。 金蚀刻剂GE-8148 用于é•è†œç»“的选择蚀刻，蚀刻速率高。 金蚀刻剂GE-8110 用é•è†œç»“的控制速率蚀刻 金蚀刻剂GE-8111 低PHã€ä½Žèš€åˆ»é€ŸçŽ‡ä¸Žé•åŒ¹é…性良好 金蚀刻剂TFA/GE-8148 说明 金薄膜蚀刻剂在光刻法制作微电å线路ä¸ç”¨ä»¥é€‰æ‹©èš€åˆ»é‡‘。和光刻技术相结åˆè¿™äº›èš€åˆ»å‰‚å¯åœ¨æ°§åŒ–é“或其他基æ¿ä¸Šçš„薄膜上制作精密电æžå’Œç”µé˜»å›¾æ¡ˆã€‚å…¶çº¯åº¦é«˜é’ å«é‡ä½Žï¼Œ0.2微米过滤，å¯ç”¨äºŽåŠå¯¼ä½“和微型电å产å“。 金蚀刻剂TFA，ä¸å«æ°°åŒ–ç‰©ï¼Œç”¨äºŽåˆ¶ä½œæ ‡å‡†äº§å“ é‡‘èš€åˆ»å‰‚GE-8148，ä¸å«æ°°åŒ–物，ä¸æµ¸èš€é•è†œ
| TFA | GE-8148 | æ“作温度 | 室温 | 室温 | 通风 | 建议用通风橱 | 建议用通风橱 | æ…æ‹Œ | æ…æ‹Œå¯åŠ 快蚀刻速率 | æ…æ‹Œå¯åŠ 快蚀刻速率 | ç½ | 玻璃 | 玻璃 | 蚀刻速率，25℃ | 28 Å /秒 | 50 Å /秒 | ç»„æˆ | 液体ä¸å«KI-I2络åˆç‰© | 液体ä¸å«KI-I2络åˆç£·é…¸ç›åŒ–åˆç‰© | PH（20℃） |
| 8.15±0.2 | 密度（20℃） |
| 1.265±0.01 | 蚀刻能力（g/åŠ ä»‘ï¼‰ | 100 | 100 | 光刻胶相匹é…性 | 阴，阳光刻胶 | 阴，阳光刻胶 | 冲洗 | 蒸溜水，去离åæ°´ | 蒸溜水，去离åæ°´ | åºŸæ¶²å¤„ç† | æŒ‰å›½å®¶æœ‰å…³è§„å®šå¤„ç† |
æ‚质最大å«é‡ | (ppm) | é’ ï¼ˆNa） | 40 | 氯和溴（CL） | 100 | é“…(Pb) | 5 | é“(Fe) | 3 | ç¡«(作为硫酸ç›) | 50 | 磷(作为磷酸ç›) | 10 |
金蚀刻剂TFAC (用于金属间化åˆç‰©åŸºæ¿) 说明 金蚀刻剂TFACæ˜¯ç”¨äºŽåœ¨ç ·åŒ–é•“ã€ç£·åŒ–镓以åŠå…¶ä»–金属间化åˆç‰©åŸºæ¿ä¸Šåˆ¶ä½œå¾®åž‹ç”µå线路的选择性蚀刻剂。金蚀刻剂蚀刻线æ¡ç²¾ç»†ï¼Œè¾¹ä¸‹èš€ä½Žã€‚这些氰化物蚀刻剂蚀刻速率å‡åŒ€ï¼Œé‡‘蚀刻剂TFAC从铜ã€é»„é“œã€é’é“œã€é•å’Œå…¶ä»–有色金属上（银除外）刻蚀金。 性质 æ“作温度 | 室温 | 通风 | 通风橱 | æ…æ‹Œ | æ…æ‹ŒåŠ å¿«èš€åˆ»é€ŸçŽ‡ | ç½æ | èšä¸™çƒ¯ | 蚀刻速率，25℃ | 5-10 Å /秒 | 蚀刻速率，60℃ | 30 Å /秒 | ç»„æˆ | å«æ°°åŒ–物粉。使用å‰ç”¨æ°´ç¨€é‡Š(8盎å¸/åŠ ä»‘) | 蚀刻能力，60℃ | 65×10-6英寸/2分 | 冲洗 | æ°´ | å¤„ç† | è§ä¸‹é¢ |
应用 å°†æ°´åŠ çƒäºŽ50℃以帮助溶解。在æ¯åŠ 仑去离åæ°´ä¸åŠ 8盎å¸é‡‘蚀刻剂TFAC粉，蚀刻导体图案去除金膜，蚀刻时间长çŸä¾è†œåŽšåº¦è€Œå®šï¼Œä¿å˜èš€åˆ»åºŸæ¶²å›žæ”¶å…¶ä¸çš„金。 废液处ç†ï¼šåˆ†ç¦»æº¶æ¶²ã€‚氰化物å°å¿ƒæŒ‰ç…§å›½å®¶å’Œåœ°æ–¹æœ‰å…³è§„定处ç†ã€‚ 金蚀刻剂GE-8110å’ŒGE-8111 MEC　GE-8110å’ŒGE-8111金蚀刻剂是专门设计在制作åŠå¯¼ä½“装置和薄膜微型电å器件时用于蚀刻金膜的蚀刻溶液。这ç§æº¶æ¶²ç”±ç¢˜åŒ–钾和碘（KI/I2）制æˆï¼Œä¸å«æœ‰æ°°åŒ–物。它们与阴，阳性光刻胶都有良好匹é…性。å¯èš€åˆ»å¯æŽ§åˆ¶çš„精细线æ¡ã€‚ GE-8110用缓冲液控制在PH8.0，而GE-8111å«ä½Žé‡å›ºä½“，呈ä¸ç‰é…¸æ€§ï¼Œå®ƒæ˜¯ä¸€ç§ä½œç”¨è¾ƒç¼“慢的蚀刻溶液。æ¤ä¸¤ç§èš€åˆ»å‰‚应在通风区进行室温æ“作。 物ç†å’ŒåŒ–å¦æ€§è´¨ 外观与气味：两者为带有碘蒸汽气味的è¤è‰²æ¶²ä½“
| GE-8110 | GE-8111 | PH | 7.9±0.1 | 2.5±0.1 | 密度（20℃） | 1.33±0.01 | 1.15±0.01 |
试剂级化å¦å“ æ‚è´¨ | PPM（最大） | 最大æ‚è´¨å«é‡PPM |
| é’ (Na) | 40 | 氯和溴化物（Cl） | 100 | é“…(Pb) | 5 | é“(Fe) | 3 | ç¡«(作为硫酸ç›) | 50 | 磷(作为磷酸ç›) | 10 |
è´®å˜ä¸Žå¤„ç† åœ¨å®¤æ¸©ä¸‹é¿å¼€é˜³å…‰å˜æ”¾ï¼Œå½“ä¸ä½¿ç”¨æ—¶ï¼Œå®¹å™¨è¦å¯†å°ã€‚碘蒸汽å¯ä½¿çœ¼ç›ä¸¥é‡æ„ŸæŸ“炎症，è¦åœ¨é€šé£Žå¤„打开瓶盖。万一触åŠçœ¼ç›å’Œçš®è‚¤æ—¶ï¼Œè¦ç”¨å¤§é‡æ¸…水冲洗（对皮肤å¯ç”¨è‚¥çš‚水冲洗），如果炎症æŒç»ä¸é€€ï¼Œå¯å»¶åŒ»è¯Šæ²»ã€‚ 包装 1夸脱装和1åŠ ä»‘è£… | 
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