嘉仪這�/span>晶化快速退火炉RTP-3-S01系列采用红外辐射加热技术，可实�?�?选配2�?样品快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达�?*的温场均匀性，寸�/span>薄膜材料进行晶化快速退�?/span>处理＋�/span>提高薄膜材料的均匀性及稳定�?/span>、�/span>

晶化快速退火炉产品特点９�/span>

快速加热和降温: 最高可控升温速率可达50 �?s，特定条件下可以达到100 �?s。冷壁水冷设计能够达到较大的降温速率，特定条件下可达30 �?s、�/span>

精确控温: 采用工业级温控器进行PID精确控温，目标温度与设定温度曲线一致性高，可实现室温�?200 ℃的温度精确控制、�/span>

适应多种工艺环境: 满足多种工艺气氛下的热处理（氮气、氩气等）。同时，通过选配真空泵，可以在真空条件下进行退火，最高真空度可达10^-3Pa、�/span>

配备观察窗口: 通过观察窗口，可以实时观察热处理过程中的样品变化。同时，可以结合相关测试方法进行原位测试分析、�/span>

超高安全系数: 采用炉壁超温报警系统和冷却水流量报警系统，全方位保障仪器使用安全、�/span>

国产退火炉：拥有自主研发技术和制造能力，能快速反应客户售后需求、�/span>

晶化快速退火炉技术参数：

型号	RTP-3-S01系列
最高温�?/span>	1200ℂ�/span>
最大升温速率	50�?s
温度均匀�?/span>	�?%设定温度
温度控制	选用工业级温控器，控温精�?/span>±0.1ℂ�/span>
温度传感�?/span>	标准K型热电偶
最大降温速率	1200℃→400℃，200�?min 400℃→100℃，20�?min （自然冷却）
最大样品尺寷�/span>	W20 x L20 x T2 (mm)
主机尺寸	W420X L320X H220 (mm)
主机重量	20.5kg

晶化快速退火炉客户案例９�/span>

清华大学使用嘉仪這�/span>1吋晶化快速退火炉绘�/span>HfO₂薄膜做晶化退火，得到晶相一致晶粒较小的晶体＋�/span>提高薄膜材料的均匀性及稳定�?/span>、�/span>