嘉仪通RTP4吋快速退火炉采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品�?英寸样品）快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达�?*的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)�?strong>快速退�?RTA)�?strong>快速热氧化(RTO)�?strong>快速热氮化(RTN)叉�span style="color: rgb(192, 80, 77);">金属合金匕�/strong>等研究和生产工作起到重要作用、�/p>