高è¿ç§»çއèšåˆç‰©åŠå¯¼ä½“çš„è®¾è®¡åˆæˆå·²å–得进展,但将èšåˆç‰©åŠå¯¼ä½“çš„å¯æº¶æ¶²åŠ å·¥ã€æœ¬å¾æŸ”性这些独特性质应用于集æˆç”µè·¯é¢ä¸´å›°éš¾ã€‚在集æˆç”µè·¯ä¸ï¼Œå¯¹èšåˆç‰©åŠå¯¼ä½“è¿›è¡Œå›¾æ¡ˆåŒ–åŠ å·¥ï¼Œå¯ä»¥é™ä½Žæ¼ç”µæµï¼Œé¿å…相邻器件间的串扰,é™ä½Žç”µè·¯æ•´ä½“功耗。目å‰ï¼Œå¯æŽ§å…‰åŒ–å¦äº¤è”技术是与现有微电å工业光刻工艺相兼容的图案化方å¼ã€‚特别是,å‘展高效的化å¦äº¤è”剂至关é‡è¦ã€‚ä¸å›½ç§‘å¦é™¢åŒ–å¦ç ”ç©¶æ‰€å¼ å¾·æ¸…è¯¾é¢˜ç»„åœ¨å‰...[更多]
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