产品用途：
此款CVD系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计，特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔
电极方面的研究，通过滑动炉实现快速加热和冷却、/p>
产品组成９/strong>
CVD系统配置９/p>
1.1200度开启式真空管式炉（可选配单温区及双温区）、/p>
2.滑动系统分为手动、电动滑动，并配有风冷系统、/p>
3.内外双石英管，采用真空可通气氛双法兰特殊连接、/p>
4.多路气体流量控制系统（质子流量控制器和浮子流量控制器（/p>
5.真空系统（可选配中真空或高真空）
产品特点９/strong>
产品独特?/p>
1 控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠，操作简单、/p>
2 气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权专利设?提高操作便捷性、/p>
3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能，高真空系统采用高压强，耐冲击分子泵，防止意外漏气造成分子泵损坏，延长系统使用寿命、/p>
4 (电动)滑动系统采用温度控制器自动控制炉体移动，等程序完成，炉体按设定的速度滑动，因有滑动限位功能，炉体不会发生碰撞，待样品露出炉体后，通过风冷系统快速降温、/p>
5 双管真空密封法兰，反应气体可以在内外管之间发生反应，冷却气体可通过内管，从而使内管外壁温度降低、/p>
| 系统名称 |
1200℃双管滑动式?多温区CVD系统 |
| 系统型号 |
CVD-12II6SH-3Z/G |
CVD-12III9SH-3Z/G |
| 最高温?/td> |
1200ℂ/td> |
| 加热区长?/td> |
610mm |
940mm |
| 恒温区长?/td> |
400mm |
700mm |
| 温区 |
双温匹/td> |
三温匹/td> |
| 石英管管徃/td> |
内管?#934;80mm 外管?#934;100mm |
| 额定功率 |
4.8Kw |
7.2Kw |
| 额定电压 |
220V |
380V（三相） |
| 滑动距离 |
485mm |
650mm |
| 滑动方式 |
手动滑动/自动滑动(由温度控制器自动控制移动，当程序完成，炉子按设定的速度滑动（/td> |
| 温度控制 |
国产程序控温系统50段程序控温； |
| 控制精度 |
1ℂ/td> |
| 炉管最高工作温?/td> |
?200ℂ/td> |
| 双管法兰连接 |
采用双法兰双卡箍连接可扩展多功能，并且分别独立对内管和外管进行真空和气体流量控制.密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术，在密封法兰与管外壁间形成了密封，在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效，该密封法兰的安装只需?*次使用设备的时候安裄/td> |
| 气体控制方式 |
质量流量讠/td> |
| 气路数量 |
3路（可根据具体需要选配气路数量（/td> |
| 流量范围 |
0-500sccm(标准毫升/分，可选配）氮气标宙/td> |
| 精度 |
1%F.S |
| 响应时间 |
?sec |
| 工作温度 |
5-45ℂ/td> |
| 工作压力 |
进气压力0.05-0.3Mpa(表压力） |
| 系统连接方式 |
采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪 |
| 规格 |
高真穹/td> |
| 系统真空范围 |
1x10-3Pa-1x10-1Pa |
| 真空泴/td> |
真空分子泵理论极限真空度
5x10-6Pa抽气速率1600L/S
额定电压220V 功率2Kw |
| 炉体外形尺寸 |
480770605mm |
4101100605mm |
| 系统外形尺寸 |
5301440750mm(不含高真? |
| 系统总重野/td> |
340Kg |
