| è´§å·: | 3484898 |
| å“牌: | TRANSENE |
| 产å“别å: | NICKEL ETCHANT TFG |
æœ¬å“æ˜¯é€‚用于蚀刻电沉积é•薄膜的高纯蚀刻剂。é•蚀刻剂TFG与铜ã€ç ·åŒ–镓以åŠå…¶ä»–â…¢ï¼â…¤åŒ–åˆç‰©ç›¸åŒ¹é…。这ç§èš€åˆ»å‰‚ä¸Žé˜³æ€§å’Œé˜´æ€§å…‰åˆ»èƒ¶éƒ½æœ‰è‰¯å¥½çš„åŒ¹é…æ€§ã€‚它用于氧化é“基æ¿ä¸Šï¼Œæ˜¯é‡‘ã€é•ã€é•é“¬æˆ–é“¬ç”µé˜»çš„ç†æƒ³èš€åˆ»å‰‚ã€ü/span>
Transene薄膜蚀刻剂(é•TFBå’Œé•TFG)是高纯ç¡é…¸ç›åŸºèš€åˆ»å‰‚ç”¨äºŽèš€åˆ»è’¸å‘æˆ–电镀é•膜,é•蚀刻剂与阴ã€é˜³æ€§å…‰åˆ»èƒ¶ææ–™éƒ½å…·æœ‰è‰¯å¥½åŒ¹é…性。建议使用的光刻胶为AZ-111,AZ-1350OHå’ŒKMER。é•蚀剂用于蚀刻金ã€é•ã€é•铬膜以制作电阻æ¿ã€‚é•蚀刻剂TFG与铜相匹é…ã€ü/span>
特点9ü/strong>
Â·å»‰ä»·ç»æµŽ
·与阳性ã€é˜´æ€§å…‰åˆ»èƒ¶éƒ½ç›¸åŒ¹é…
·线æ¡è½®å»“清晰
·蚀刻速率å‡åŒ€
性质9ü/strong>
| 蚀刻剂 | TFG |
| æ“作温度 | 40â„‚ü/span> |
| 蚀刻速率 | 50?/ç§‘ü/span> |
| 长²‰ç§¯æ³• | 化å¦é•€/电镀 |
| 蚀刻能劚ü/strong> | - |
| 典型膜厚 | - |
| ç½ü/strong> | 玻璃 |
应用9ü/strong>
é•蚀刻剂是浸泡型产å“ï¼Œè´æ¥é©¬ä¸Šå¯ç”¨ï¼Œèš€åˆ»é€ŸçŽ‡é€šè¿‡æ“ä½œæ¸©åº¦åŠ ä»¥æŽ§åˆ¶ã€‚é•通常在氧化é“基æ¿ä¸Šå¤¹äºŽé‡‘å’Œé•é“¬æˆ–é“¬ä¹‹é—´ï¼Œå¯¹è’¸å‘æ³•或化å¦é•€åˆ¶çš„é•éƒ½é€‚ç”¨ã€‚å®žé™…èš€åˆ»æ—¶è¦æ ¹æ®è†œåŽšå’Œæ“作温度控制蚀刻时间,ä¸è¿‡å¯¹äºŽè’¸å‘法é•一般是1分钟,而对于化å¦é•€é•是4分钟。蚀刻过åŽåº”用水冲洗ã€ü/span>