微电子和半导体行业专 >> 旋涂薄膜制备
KW-12A旋涂朹/div>
产品介绍
12系列包含单头、多头,单速、多速等系列产品,满足客户不同需求、/p> 12A旋涂机主要用于光刻胶涂布、涂硼等工艺过程,该设备具有匀胶效率高,使用方便等特点。其匀胶速度、时间分多个时段,并分别无级可调、/p> 电器线路可靠,电机运转平稳,特别是电机转矩大,优于同类产品、/p> 吸片采用电磁阀控制气路,这样适合流水线的工艺,一个气泵可同时带几个旋涂机工作,提高了效率、/p> 产品参数 1、工作电 AC220V 50Hz 2、电源功 200W 3、装片直 选择10/20/30…?50mm 4 4个速度、时间段(1V?V?V?V,T000)记忆 5 八组程序(A1-A8)记必/p> 6、加速一致性(误差?#177;0.5% 7、转速稳定度 1% 9、匀胶时 0-240科/p> 10、速度范围 100-7000 ,50转一桢/p> 11、外形尺 250x300x300mm 12、重 旋涂?1KG,选配件真空泵5KG 装箱協/strong> 匀胶机主机一台,接胶锅一只,配套吸盘1?/p> |
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