产品型号

高真空PECVD系统

主要特点

1、系统采用单室方箱式结构，手动前开门；

2、真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料制造（304），氩弧焊接，表面采用喷玻璃�?电化学抛光钝化处理配有可视观察窗口，并带挡板，真空尺寸为300mm��300��280mm：�/p>

3、采用样品在下，喷淋头在上喷淋式进气方式

4、气路设有匀气系统，真空室内设有保证抽气均匀性抽气装�?/p>

5、系统设有硅烷尾气处理系�?高温裂解方式)、�/p>

技术参�?/strong>

1、停泵关�?2小时后真空度：≤5 Pa：�/p>

2、样品加热最高加热温度：300℃，温控精度�?#177;1℃，采用日本进口控温表进行控温；

3、喷淋头尺寸�?00��200mm，喷淋头与样品之间电极间�?0-80mm连续可调，并带有标尺指数显示，采用金属焊接波纹管+进口直线导轨+进口丝杠+进口光轴方式，升降平稳、无抖动，保证了电极与样品的平行度；

4� 沉积工作真空�?3-1300Pa：�/p>

5、射频电源：频率 13.56MHz，最大功�?00W，全自动匹配：�/p>

6、SiH4、NH3、N2O、N2、H2、Ar 6路气体，共计使用6个质量流量控制器控制进气、�/p>

标准配件

可选配仵�/strong>