DX-7系晶棒及晶片角度测量仪是双侧工作台，可同时进行操作，用于对晶棒及晶片的角度进行测量、/p>
DX-7系列晶棒、晶片角度测量仪参数对比?/strong>
叶/strong> |
DX-7B |
DX-7BG |
主要特点 |
设备构造：设备分为落地式一体机、/p> 外型尺寸?132（长?#215;642（宽?#215;1200（高）mm、/p>
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样式1 |
样式2 |
样式3 |
功能 |
可测量晶棒的端面和柱面，也可以测量晶片、/p> |
带有六方型刻度贴片板，可测量晶片端面 |
可测量晶片参考边 |
被测晶体尺寸 |
2-6寸晶棒、长度L?20mm?-6寸晶片、/p> |
2-6寸晶棒、长度L?00mm?-6寸晶片、/p> |
2-6寸晶片、/p> |
工作台图牆/p> |
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配套夹具 |
①V型夹具（测量晶棒端面时使用） ②底板（测量有参考面的晶棒端面时使用（/p> |
无需夹具 |
无需夹具 |
工作台：以上是常见工作台，可根据客户需要，任选以?种样品台进行组合，也可以双侧一样，还可以根据被测的晶体尺寸，及晶体被测方位来特殊设计、/p> |
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设备精度 |
设备综合精度?#177;30′/p> （以供方提供的标准石英片101面测量） |
设备综合精度?#177;15′/p> （以供方提供的标准石英片101面测量） |
最小读?/strong> |
10′/p> |
仪器配置 |
DX-7B和DX-7BG型X射线单晶定向仪由机台、管套及各种机械附件组成的机械部分；由稳压器、控制器、高压变压器、放大器、计数器、风冷电机、X射线管及各种指示仪表组成的电气部分构成、/p> |
技术指栆/strong> |
?）X射线发生器部分： X射线管：铜靶，风扇冷却，阳极接地、/p> 最大管电压?0KVP，全压合闸、/p> 管电流：0?mA 连续可调，使?.0mA以上，有可能损坏X光管并加大辐射危害、/p> ?）输入电源：单相交流220V?0Hz，整机总耗电功率不大?.3 KW 、/p> ?）角度测量范围： 2角：?0?110 觑-5?55、/p> |
衍射方式 |
单衍尃/p> |
双衍尃/p> |
放大系统 |
传统放大?/p> |
新型放大?/p> |
接收系统 |
计数管计数率?04/科/p> |
计数管计数率?08/科/p> （是普通系列的1万倍） |
接收器寿呼/strong> |
1平/p> |
3年以三/p> |
X光管寿命 |
按照国家标准400小时 （X光管可以使用3-4个月（/p> |
是正常使用状况下?-3倌/p> （X光管至少可以使用一年） |
X管电流强?/strong> |
1-1.5mA |
0.5-1.0mA |
测量和使用效枛/strong> |
X光管使用2-3个月有可能出现多个假峰，影响准确度。需要经常更换X光管，影响生产效率、/p> |
可以滤掉X光管的杂峰，不存在假峰现象。X光管可以使用1年左右，不需要频繁调整机器、/p> |
精度 |
精度30秒（?#177;0.008度） |
精度15秒（?#177;0.004度） |
辐射 |
测量时使 mA量越来越大，射线辐射量较大、/p> |
测量时使 mA量小，射线辐射量较小、/p> |
