产品名称

VGB-600-3HD薄膜电池制备系统

主要特点

1、配置三个靶枪，一个配套射频电源通过转换开关可以分别连接至任一靶头，用于各类靶材的溅射镀膜（靶枪可以根据客户需要任何调换）、�/p>

2、可制备多种薄膜，应用广泛、�/p>

3、体积小，操作简便、�/p>

4、整机模块化设计，真空腔室、真空泵组、控制电源分体式设计，可根据用户实际需要调整、�/p>

5、可根据用户实际需要选择电源，可以一个电源控制多个靶枪，也可多个电源单一控制靶枪（选配）、�/p>

6、可在手套箱内进行实验操作，更换各类易氧化的靶材用于镀膜实验、�/p>

技术参�?/strong>

三靶磁控溅射部分

1、电源电压：220V 50Hz

2、总功率：2.5KW

3、极限真空度９� E-6mbar（配合本公司机械泵设备使用可达到 E-3mbar（�/p>

4、工作温度：RT-500℃，精度��1℃（可根据实际需要提升温度）

5、靶枪数量：3�?/p>

6、靶枪冷却方式：水冷

7、靶材尺寸：?2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同（�/p>

8、溅射电源功率：300W（射频）/500W（直流）

9、载样台�?#216;140mm

10、载样台转速：1rpm-20rpm内可谂�/p>

11、保护气体：Ar、N2等惰性气佒�/p>

12、进气气路：质量流量计控�?路进气，1个流量为100 SCCM�?个流量为200 SCCM

手套箱部刅�/strong>

1、电源：单相AC110V-220V 50Hz/60Hz

2、壳体材料：304不锈钡�/p>

3、手套箱腔体�?220mm��760mm��900mm

4、前级室：设�?个前级室，大前级�?#216;360mm��600mm，小前级�?#216;150mm��300mm

5、腔体环境：水含野�1ppm�?0℃，1atm），氧含野�1ppm�?0℃，1atm（�/p>

6、工作气体：N₂、Ar、He等惰性气佒�/p>

7、控制气体：压缩空气或惰性气佒�/p>

8、还原气体：工作气体和H₂的混合气（如果净化系统只有除水功能，还原气体与工作气体相同）

9、气体净化系统：德国BASF除氧材料、美国UOP高效吸水材料，净化系统再生过程自动控制，自动除水� 除氧功能，可长期、持续维持气体纯度在氳�1ppm、氧<1ppm

10、压力控制系统：腔体气压可通过PLC触摸屏自动控制，控制精度�?#177;1Pa，也可通过脚踏开关进行手动控刵�/p>

11、过滤系统：进、出气端都装有过滤器，过滤精度为0.3��m

12、控制系统：SIEMENS彩色触摸屏（6寸），PLC控制系统，中英文双语可切换；

水探头采用美国GE品牌�?-1000ppm触摸屏显示，精度0.1ppm：�/p>

氧变送器采用美国AII品牌�?-1000ppm触摸屏显示，精度0.1ppm：�/p>

压力传感仪采用美国setra品牌�?2500-2500Pa触摸屏显示，精度��1Pa：�/p>

13、真空泵：采用英国EDWARDS品牌，抽�?.4m³/h-12m³/h

14、手套：美国NORTH品牌丁基合成橡胶

15、照明系统：飞利浦品牌荧光灯箠�/p>

产品规格

三靶磁控溅射部分�?50mm��460mm��810mm

手套箱部分：2300mm��1500mm��1900mm