【应用领域【/span>
SDG型系列高纯水电导率仪,用于测量高纯水电导率,其测量纯水可以达到nS/cm级,测量精确、准确、稳定、/span>
高纯水主要应用于电子和微电子工业上,也用于食品、造纸、医药等行业。半导体器件由单电路到集成电路到超高集成电路,其用水的水质要求就越来越高。在半导体切片和研磨过程中,须用高纯水进行清洗、/span>
【品质【/span>
VIOLET?智创,更强、更好、更精彩?/span>
最大允许误差:
SDG001:?.1%FS
SDG002:?.2%FS
保障高精度测量;
测量电导率,可实时切换电阻率:/span>
支持功能拓展、扩展;
自动温度补偿(可以选择手动补偿)、/span>
【功能、特点【/span>
六键操作、光标引导;
支持N点标?N=1?),支持标定设为理论值;
VIOLET?智创,餍足一支电极全量程范围应用:/span>
测量响应灵敏,平衡后“精、准、快”即时显现;
数据采集、存储符合GLP规范。库存数据可查询、转移、删?单组)、清?全部),数据库可无限保存采集数?SD卡转移输?:/span>
自动温度补偿(可以选择手动补偿):/span>
显示屏背光可调;
操作菜单可选中文、英文、/span>
【技术参数【/span>
| 参数 | 技术指栆/span> | |
| 型号 | SDG001 | |
| 仪器引用误差级别 | 0.1?/span> | |
| 测量参数 | 电导率、电阻率、温?/span> | |
| 测量范围 | 电导玆/span> | 0.00nS/cm?0.00μS/cm |
| 电阻玆/span> | 20.00KΩ·cm?.000GΩ·cm | |
| 温度 | (-5.0?05.0)ℂ/span> | |
| 分辨玆/span> | 电导玆/span> | 0.01nS/cm?.001μS/cm |
| 电阻玆/span> | 0.001(KΩ·cm、MΩ·cm) | |
| 温度 | 0.1ℂ/span> | |
| 最大允许误?/span> | 电导玆/span> | ±0.1%FS |
| 电阻玆/span> | ±0.2%FS | |
| 温度 | ±0.2ℂ/span> | |
| 重复?/span> | ?.1%FS | |
| 电源 | 电源适配?输入AC?20V?0/60Hz;输出DC?2V?0mA) | |
| 尺寸;重野/span> | 165×205×60(mm)?50(g) | |
【高纯水电导率【/span>
一般称电导率小?.1μS/cm的纯水为高纯水。在工艺条件下制备的高纯水,杂质近乎为零。高纯水电导?或电阻率)是水质要求关健指标、/span>
高纯水制备的典型工艺流程如下:源水→过滤→活性炭过滤?或有机大孔树脂吸附器)→反渗透器(或电渗析?→阳离子交换柱→阴离子交换柱 混合离子交换柱→有机物吸附柱→紫外灯杀菌器→精密过滤器→高纯水、/span>
制定高纯水标准主要依据:(1).微电子工艺对水质的要求;(2).制水工艺的发展水平;(3).水中杂质监测技术的现状等。目前,? G(及以?位超大规模集成电路制造中,对高纯水的技术要求很严、/span>
电极常数标定:用标准纯水(已知电导率?作为标定溶液,标定电极常数。标定前用高纯水把电极清洗干净,并用虑纸吸干水分,再用标定纯水适量冲洗、/span>
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