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RTP快速升降温退火炉TF1200-100-SL-RTP
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| 型号: |
TF1200-100-SL-RTP |
| 品牌: |
Micro-X |
| 产地: |
上海 |
| 仪器类型: |
管式炈/td> |
产品介绍
| 开启式RTP快速升降温退火炉，是由我公司自主研发的高性能热处理设备。本产品采用国际先进制造工艺，造型新颖结构合理，炉体上下两半设计，可自由打开闭合，安全可靠，炉管外径100mm，炉膛采用高纯氧化铝纤维材料真空吸附成型，表面涂有高反射率高温保护涂层，既能降低热量损耗，还能提高炉内温度稳定性。试验样品放置于密封的石英管内，内部洁净度高，可降低间接污染的可能。已广泛用于半导体器件研发及生产等领域，该系统可满足离子注入后的快速退火，也可用于欧姆接触快速合金，还可用于硅化物合金退火，氧化物生长，以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。本产品采用红外加热，升温速度快达30?S，炉体下部配有轨道，可左右移动至底部风扇处，以达到快速冷却的目的、/span> |
| 技术参?/span> |
| 项目 |
主要技术指栆/span> |
数据 |
| 规格型号 |
TF1200-100-SL-RTP |
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| 温度控制 |
×高温度点 |
1200ℂ/span> |
| 额定温度 |
1100ℂ/span> |
| 稳定状态温度范図/span> |
200-1050ℂ/span> |
| 温度测量精度 |
±0.2ℂ/span> |
| 温度控制重复?/span> |
±1ℂ/span> |
| 温度控制**?/span> |
±1ℂ/span> |
| 温度均匀?/span> |
±2ℂ/span> |
| 温度状态工艺时闳/span> |
7-32 S(200-1050? |
| *快升温速率 |
30?S(可按需定制) |
| 降温速率 |
1-200?将试样移出加热区域或通氮气可加快降温) |
| 温度控制模式 |
智能模糊PID全闭环控刵/span> |
| 触摸屎/span> |
尺寸 |
7寸LCD 工控 |
| 物理指标 |
*大功玆/span> |
18 Kw |
| 额定电压 |
AC380V?0/60Hz |
| 测温元件型号 |
K型热电偶 |
| 石英管规栻/span> |
Φ100*1500 |
| 真空?/span> |
选配分子泵真空度可达4*10-3Pa |
| 抽气端口尺寸 |
KF25或?mm |
| 进气端口尺寸 |
Φ6mm |
| 冷却方式 |
自然冷却或强迫风冷N2或压缩空气：2psi(0.14kg/cm2) 7psi(0.5kg/cm2) |
| 外形尺寸 |
?00×?520×?20 |
| 设备重量 |
80Kg |
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