一�?strong style="padding: 0px; margin: 0px;">德国SPS POLOS匀胶机SPIN150i产品特点和技术参数：

1、结构：

�?）旋涂腔体直径为202毫米，适用于小尺寸碎片�?60 mm 直径圆片� 4" x 4" 方片：�/span>

�?）NPP-H（具有α晶的天然聚丙烯）的耐腐蚀结构为整个系统提供更好的刚性和韧性；

�?）旋涂腔室材质为NPP（天然聚丙烯�?特殊应用可选用高耐化学性的PTFE（TFM?）；

�?）高品质无缝制造表面，全工程塑料；

�?）机身尺寸为�?74 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm，适用于通风厨和手套箱使用；

2、数字电机控制：

�?）具有数字增量速度信号的数字实时闭环控制伺服电机反馈；

�?）允许具有广泛旋转速度参数的用户以更安静的方式进行工作/实验，系统高速运行时更稳定，振动更少：�/span>

�?）提供高性能无刷电机，有着高精度的转速（±0.1 rpm）和宽范围的转速（1�?2,000 rpm），这是传统PID电机控制器无法实现的：�/span>

3、程序配方数目存储不设限，可用于多个步骤的配方，每个配方均适用于：

�?）旋涂时间：0.1�?9999�?�?span style="padding: 0px; margin: 0px;">：�/span>

�?）旋涂转速：0�?2,000 rpm：�/span>

�?）旋转方向：顺时针，逆时针，顺、逆时针交换搅动；

�?）旋涂加速度�?�?0,000 rpm / sec（每步可选）：�/span>

�?）真空：开/关；

�?�?个可编程的干触点：例如用于分配单元，氮气扩散器等的自动控制；

4、设备控制器９�/span>

�?）可拆卸的全尺寸触摸屏，手套防护，IP 52，耐化学腐蚀：�/span>

�?）彩色触摸屏显示，可轻松编程速度，加速度和时间；

5、安全联锁：

�?）Process Chambe Lid始终为所有用户安全锁定，并且仅在单击盖子打开显示图标时才能打开：�/span>

�?）电磁盖联锁在打开时停止旋转，而真空联锁（可编程）在没有足够真空或没有真空的情况下停止旋转，防止伤害使用者并避免基材破裂：�/span>

�?）具有国际CE标志和过载保护的电气安全：�/span>

6、透明盖：

�?）透明盖清晰可见内部，带有注射器支架和N2扩散器，可手动分配注胶以及在处理过程中进衋�span style="padding: 0px; margin: 0px; letter-spacing: 0px; text-align: justify;">N2吹扫：�/span>

�?）注射器支架可帮助用户始终在期望的相同位置和位置分配抗蚀�?化学物质：�/span>

�?）控制室环境对于恒定的过程结果至关重要；

�?）坚固的自弹式盖铰链，可自动将盖保持�?*状态，以便轻松搬运和卸下基板，同时确保盖子上的残留化学物质都流入系统排水口：�/span>

7、连接：

�?）三个可编程继电器输出，可用于操作自动分配系统，外部阀或其他附件、�/span>

�?）多种chuck可供选择，适用用于不同尺寸的基板、�/span>

8、USB端口：可轻松上传和下载配方以及更新软件版本；

9、存储：结构化和受密码保护的方案存储，可轻松安全地进行管理；

10、配套真空泵系统：无 � � 220~240伏交流，50/60赫兹：�/span>

二�?strong style="padding: 0px; margin: 0px;">德国SPS POLOS匀胶机SPIN150i应用领域９�/span>

1、适应于钙钛矿太阳能电池薄膜制备；

2、半导体芯片制造；

3、MEMS制版的表面涂覆；