产品型号

微型PECVD系统

本设备要求在海拔1000m以下，温�?5�?#177;15℃，湿度55%Rh��10%Rh下使用、�/p>

1、水：不需�?/p>

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台：尺�?00mm��600mm��700mm，承�?0kg以上

5、通风装置：需�?/p>

主要特点

1、加热圈套有石英罩，以减小热量损失、�/p>

2、样品可置于加热线圈内，以达到更好的加热效率和温度均匀性、�/p>

3、采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序、�/p>

4、设有一滑动法兰安装于移动加上，以便于样品的放入和取出、�/p>

5、已通过CE认证、�/p>

技术参�?/strong>

等离子源

1、等离子体射频电源：110V/220V 50Hz/60Hz <100W

2、输出频率：13.56MHz

3、射频功率：7.2W�?0.5W�?8W三档，可调节

4、腔体尺寸：外径?76.2mm��内径?68.58mm���?06.4mm

5、加热圈：电�?20V，最大功�?00W，外�?#216;50mm��内径?40mm��70mm，并套有内径?50.8mm��?75mm的石英罩

6、法兰：?3″不锈钢法兰，设有KF-25真空泵接口�?/4″卡套接头、不锈钢针阀

7、通入气体：可通入多种惰性气体，如N₂、Ar，不可通入易燃易爆性气佒�/p>

8、真空度�?0^-2torr（机械泵（�/p>

两通道混气系统

1、浮子流量计�?0ml/min-100ml/min�?�?/p>

2、针阀�?04不锈钢针阀�?�?/p>

3、压力表�?0.1MPa-1.0MPa�?.01MPa/grid），3�?/p>

真空泴�/p>

1、抽气速率�?20L/min

2、接口：KF-25

产品规格

1、尺寸：等离子源216mm��254mm��203mm，控制盒102mm��254mm��203mm＋�/p>

两通道混气系统340mm��300mm��180mm，移动架600mm��600mm��1250mm

2、重量：32kg