GTK150扩散泵高真空机组系统是由VRD-16前级机械泵、扩散泵、高真空阀、前级管路，冷凝器、高真空检测系�?复合真空�?等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。该机组的真空度可达�?X10^-3Pa(�?.005Pa)，安装方便，操作简单，易于连接，性能可靠，可广泛用于表面分析、钎焊、真空热处理、真空熔炼、加速器技术、半导体设备、等离子体技术、电真空器件的制造及真空技术各领域、�/span>

一、机组技术参�?/strong>

1、机组输入电压：220V/380V

2、波纹管：KF40*1000mm

3、真空挡板阀：KF40

4、机箱尺寸：600*600*600mm

二、扩散泵技术参�?/strong>

扩散泴�/span>	扩散泵型叶�/span>	TK150
	入口直径	150mm
	抽气速率L/S(对空�?	1000L
	建议启动压强	�?0 Pa
	极限压强(Pa)	7×10-5
	排气口法�?/span>	KF40
	功率	1.2KW
	输入电压频率(V/Hz)	220V
	环境温度(�?	0�?0
	前级泵型叶�/span>	FX-16
	冷却方式	水冷
	冷却水温�?�?	<25
	安装方式	垂直
	注油野�/span>	0.3L
	重量(公斤)	40
	产品型号	FFX-16

三、真空泵参数

扩散泵泵前级真空泵FFX-16 (扩散泵必须要配此前级�?	功率	0.75KW
	电压	380V
	转逞�/span>	1450rpm
	进气口径	KF25/KF40
	前机泵抽气速率(L/S)	4
	极限压强	4X10-2Pa

四、复合真空计技术参�?/strong>

复合真空讠�/span>	复合真空计型叶�/span>	ZDF
	电源	220V 55W
	控制精度	± 1%
	真空计测量范図�/span>	10-5-105Pa

ZDF型系列电�?电离复合真空计是基于低真空测量电阻单�?ZJ-52T电阻�?与高真空测量电离单元(ZJ-10电离�?技术组合，以完�?×10⁵�?×10^-4Pa连续测量与控制。因此该真空计系列具有电阻真空计与电离真空计所有技术参数与性能特点。该真空计系列具有两种工作模式：手动模式与自动模式。手动模式工作时，相当于独立的电阻真空计和电离真空计；自动模式工作时，首先电阻单元进入测量，当电阻单元测量真空度高于电离规可以开启的真空度时，电离规灯丝自动被点�?开�?，并进入高真空测量，实现了从大气�?常压)到高真空的自动连续测量。还增加了外�?PLC)开闭电离规功能，以实现电离规工作于真空环境，以延长电离规工作寿命、�/span>