半导体和LED制造商依靠超高纯度的工艺气体如氨和磷化氢来制造高科技产品，如智能手机、LED电视和灯泡，以及消费者所需要的CPU和内存芯片。这些关键气体中的残留水分会降低设备的性能，降低产量，并对产品和企业盈利能力产生负面影响。tigeroptics HALO-LP水分分析仪的设计目的是为用户提供一个简单，经济有效，紧凑的分析仪，以确保微量的水分在NH3, PH3和AsH3在要求的规格内。采用绝对压力控制器，tigeroptics HALO-LP水分分析�?低压)版本允许用户以无与伦比的准确性、可靠性和响应速度测量氢化物气体中的水分。因此，tigeroptics HALO-LP水分分析仪作为全球电子制造商和特种气体供应商在氨和磷化氢微量水分水平检测方面的行业领导耄�/p>

　　tigeroptics HALO-LP水分分析仪技术参�?/p>

　　操作范围 请参阅图牆�/p>

　　最低测量极� 请参阅图牆�/p>

　　灵敏度（σ� ±1% or 1/3 of LDL

　　精度（取大值） ±4% or LDL

　　响应速度 �?分钟 to 95%

　　环境要求 10�?40� , 30�?80� RH（non-cond（�/p>

　　储存温度 -10�?50ℂ�/p>

　　内部管路材料 316L不锈钢（选配:哈氏合金Hastelloy�?0Ra表面光洁�?/p>

　　气体接口 1/4� male VCR入口和出叢�/p>

　　泄露测试 1×10-9 mbar 1/sec

　　入口气体压力 10-125psig(1.7-9.6bar)

　　流量 小于1.4slpm(�?

　　样品气体 惰性气体、有毒气体、活泼或腐蚀性气佒�/p>