产品介绍９�/span>

---

同�/span>称：可编程匀胶机HC150PE

垊�/span>号：HC150PE

库�/span>用：在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关、�/span>

产品概述９�/span>

---

HC150PE可编程匀胶机，采用分体式结构设计，高分子HDPE耐腐蚀内腔�?.3英寸触摸屏，工业级直流电机及高级PLC控制，直观清晰的程序界面与设计，美观大方。适合涂胶处理? 5~150mm圆晶尺寸基片、�/span>
　　该匀胶机结构紧凑、简单易用，可编程实现单步旋涂和多步编程旋涂，尺寸小巧，可放入手套箱内操作。HDPE高分子材料旋涂内腔，美观耐腐蚀，经久耐用、�/span>

性能参数９�/span>

---

• 适用晶元尺寸范围９�/span>? 5~150mm：�/span>

• 旋涂速度９�/span>100~12000rpm：�/span>

• 转速分辨率９�/span>1rpm：�/span>

• 旋涂加速度９�/span>100-30000rpm/s：�/span>

• 最大旋涂时间：3000s：�/span>

• 旋涂时间精度９�/span>0.1s：�/span>

• 内腔直径212mm，内腔采用独特的凹面防溅设计：�/span>

• 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂，可编程100组程序，每组程序10步；

• 电源输入９�/span>AC200-230

产品特点９�/span>

---

• 设计紧凑，可轻松放置在手套箱内使用；

• HDPE高分子材料旋涂内腔，耐腐蚀：�/span>

• 采用分体式结构，易清洁和移动：�/span>

• 4.3英寸彩色触屏控制，易学易用；

• 精确设置实验参数，运行状态实时显示；

• 绎�/span>CNC一体加工成型的HDPE内腔，内腔壁采用独特的凹面设计，有效防溅：�/span>

• 采用高级PLC程序控制，可编程，实现快速旋涂和多步编程旋涂：�/span>

• 具有电机进胶保护功能；管路易疏通设计；

• 具有真空不足提示及保护功能，具有断电后参数自动保存功能、�/span>

• 可设置用户密码保护功能；

• 带真空度安全互锁检测功能；

• 带一路自动点胶接口，可升级自动点胶系统；

HDPE高分子耐腐蚀内腔

不同尺寸的载物盘

产品外型尺寸９�/span>
　310mm(D)*254mm(W)*250mm(H)

咨询或索取详细产品资料，ANALYSIS（安赛斯（�/span>工作人员、�/span>