?说明
Transene薄膜蚀刻剂(é•TFBå’Œé•TFG)是高纯ç¡é…¸ç›åŸºèš€åˆ»å‰‚ç”¨äºŽèš€åˆ»è’¸å‘æˆ–电镀é•膜,é•蚀刻剂与阴ã€é˜³æ€§å…‰åˆ»èƒ¶ææ–™éƒ½å…·æœ‰è‰¯å¥½åŒ¹é…性。建议使用的光刻胶为AZ-111+üspan style="box-sizing: border-box;padding: 0px">AZ-1350OHå’‹üspan style="box-sizing: border-box;padding: 0px">KMER。é•蚀剂用于蚀刻金ã€é•ã€é•铬膜以制作电阻æ¿ã€‚é•蚀刻剂TFG与铜相匹é…ã€ü/span>
性质
蚀刻剂 |
TFB |
TFG |
æ“作温度 |
25â„‚ü/span> |
40â„‚ü/span> |
蚀刻速率 |
30?/ç§‘ü/span> |
50?/ç§‘ü/span> |
长²‰ç§¯æ³• |
è’¸å‘/é˜´æžæº…é•€ |
化å¦é•€/电镀 |
蚀刻能劚ü/span> |
270g/åŠ ä»‘ |
----- |
典型膜厚 |
1500?/5-50微英寷ü/span> |
----- |
ç½ü/span> |
玻璃 |
玻璃 |
应用
é•èš€åˆ»å‰‚æ˜¯æµ¸æ³¡åž‹è´æ¥é©¬ä¸Šå¯ç”¨çš„蚀刻剂,蚀刻速率通过æ“ä½œæ¸©åº¦åŠ ä»¥æŽ§åˆ¶ã€‚é•通常在氧化é“基æ¿ä¸Šå¤¹äºŽé‡‘å’Œé•é“¬æˆ–é“¬ä¹‹é—´ï¼Œå¯¹è’¸å‘æ³•或化å¦é•€åˆ¶çš„é•éƒ½é€‚ç”¨ã€‚å®žé™…èš€åˆ»æ—¶è¦æ ¹æ®è†œåŽšå’Œæ“作温度控制蚀刻时间,ä¸è¿‡å¯¹äºŽè’¸å‘法é•一般是1分钟,而对于化å¦é•€é•是4分钟。蚀刻过åŽåº”用水冲洗ã€ü/span>