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试剂仪器? title=
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小型桌面式蒸镀?/div>
小型桌面式蒸镀仪图?></a></div>    <span style=
型号: KT--Z1650CVD
参考价栻 38600??/td>
交货朞 两周
产地: 郑州


产品名称
小型蒸镀?br />
产品介绍

小型真空钨舟热蒸镀?/span>KT-Z1650CVD

是一款小型多功能镀膜仪,额宙/span>1800度高温,自动样品挡板,靶台旋转,触摸屏多段控制,工艺储存等功能、/span>

眞/span>空蒸发镀膜包括以下基本过程:'/span>1)加热蒸发过程:包括由凝聚相转变为气相的过程,每种蒸发物质在不同的温度有不同的饱和蒸气压。(2)气态原子或分子在蒸发源与基片之间运输,即原子或分子在环境气氛中的飞行过程、/span>

'/span>3)蒸发原子或分子在基片表面张得沉积过程。即是蒸发,凝聚,成核,核生长,形成连续的膜。由于基板温度远

低于基板温度远低于蒸发源温度,因此,气态分子在基片表面将发生直接由气态到固态的相转变过程、/span>




技术参

控制方式

7寸人机界 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功胼/span>

0-999科/span>5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

?200W

输出电压电流

电压?2V电流?20A

真空?/span>

机械泴/span>?Pa'/span>5分钟 分子泴/span>?0^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔佒/span>φ160mm x 160mm

样品?/span>

可旋?/span>φ62(可安装φ50基底(/span>

样品台转逞/span>

8?/span>/分钟

样品蒸发源调节距禺/span>

70-140mm

蒸发温度调节

?800ℂ/span>

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓜/span>带坩埚钨丝蓝钨舟碳绳

预留真空接口

KF25抽气KF16真空计接KF16放气6mm卡套进气叢/span>

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空5分钟;/span>5Pa(/span>

数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa(/span>

分子泵机组(可抽真空20分钟?x10-3Pa(/span>


郑州科创实验仪器设备有限公司
电话:点击&查看
联系亹 张女?/span>
地址: 郑州市高新技术技术开发区西三?83号大学科技?1号楼
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