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气体检测报警装 >> 有毒气体报警装置
XPS-7Ⅱ半导体材料气体检测仪
XPS-7Ⅱ半导体材料气体检测仪图片
型号: XPS-7Ⅰ/span>
品牌: COSMOS
索取资料及报件/span>
型号: XPS-7Ⅰ/td>
品牌: COSMOS
产品介绍

检测对豠/span>

毒气/半导体材料气佒/span>

检测范図/span>

根据规格而定

检测原琅/span>

定电位电解式

检测方弎/span>

泵吸引式

应用行业

石油化工、半导体制速/span>

产品描述:只需更换传感器组件,即可检测各种半导体材料气体

01.产品特点

·只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气佒/span>

·用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正

·可以大幅度削减成本和维护时间

02.产品用逓/span>

·半导体工?石油化学工厂筈/span>

·在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检浊/span>

03.对象气体

型号 气体 满量稊/strong>
XDS-7NH NH3 100ppm
XDS-7SH SiH4 25ppm
XDS-7DC SiH2Cl2 25ppm
XDS-7AH AsH3 250ppb
XDS-7PH PH3 1ppm
XDS-7BH B2H6 500ppb
XDS-7SE H2Se 250ppb
XDS-7GH GeH4 1ppm
XDS-7CL Cl2 5ppm
XDS-7CF ClF3 1ppm
XDS-7HC HCl 25ppm
XDS-7HF HF 10ppm
XDS-7HB HBr 10ppm
XDS-7NO NO 100ppm
XDS-7HS H2S 50ppm
XDS-7CO CO 250ppm
XDS-7DS Si2H6 25ppm
XDS-7F2 F2 5ppm
XDS-7OZ O3 1ppm
XDS-7SD SO2 10ppm
XDS-7ND NO2 10ppm
XDS-7NF NF3 100ppm

04.产品参数

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