产品性能介绍９�/strong>

� 最新的内部紧凑设计，缩小设备尺寷�/span>

�?"触屏控制面板操作系统

◆Telon?/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艹�/span>

◆标准配置转�?000rpm，并可根据用户需要进行定刵�/span>

◆采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内�?/span>

◆机身选用耐腐蚀不锈钢，内腔采用HDPE材料

◆排风和抽气系统位计于载片台之底部，以利于排风效率和匀胶均一�?/span>

◆透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发

产品参数说明９�/strong>

� 旋涂程序：最多存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1科�/span>

●转动速度�?-5,000rpm(更高速可�?，考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm

●旋涂加速度�?-10,000rpm/sec(更高可�?，考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s

●马达旋涂转速稳定性能误差� < ±1rpm

●转速调节精度和重复性： 1rpm

●工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec

●支持wafer尺寸25px-300mm(12“圆�?

●旋涂作业均匀性：< ±3% �?英寸范围�?去除边缘3毫米区域测量)

产品外型尺寸�?13mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)