江苏雷博科学仪器有限公司
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名称９span class="color3 fontb">江苏雷博科学仪器有限公司
认证９span class="color3">工商信息已核宝/span>
联系人： 销?/span>
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AC200-SE程控伺服型匀胶机
微电子和半导体行业专 >> 旋涂薄膜制备
| 型号: | AC200-SE |
| 品牌: | LEBO(雷博) |
| 产地: | 江阴 |
| 仪器类型: | 匀胶机 |
产品介绍
产品性能介绍９/strong>
两种型号可选：AC200-SE(标准?、AC200-PE(高端?
◆最新的内部紧凑设计，缩小设备尺寷/span>
?"触屏控制面板操作系统，更方便操作
◆Telon?/polyethylene “密闭碗”设计适合各种材料匀胶工艹/span>
◆标准配置转?0000rpm，可根据用户需要进行定刵/span>
◆工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内?/span>
◆机身选用耐腐蚀不锈钢，内腔采用耐腐蚀HDPE材料
◆排风和抽气系统位计于载片台底部(以利于排风效率和匀胶均一?
◆透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发
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产品参数说明９/strong> 旋涂程序：最多可?00组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1科/span> ●转动速度?-10,000rpm(更高速可? ●旋涂加速度?-50,000rpm/sec(空载) ●马达旋涂转速稳定性能误差?lt; ±1rpm(AC200-SE); <±0.1rpm(AC200-PE) ●转速调节精度及重复性：1rpm(AC200-SE); 0.1rpm(AC200-PE) ●具有真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能 ●工艺时间设定：0-3,000sec/step，时间设置精度：0.1sec ●支持wafer尺寸：碎片至200mm(8”圆? ●旋涂作业均匀性：< ±3% ?英寸范围?需要去除边?毫米区域测量) 产品外型尺寸９/span> ?33mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) 标准设备结构 ?06mm(D) * 306mm(W) * 306mm(H) 可选分体结?适于嵌入式手套箱或工作台? |
