产品特点�

1、射频发生器的高压供电回路，采用先进的电子技术，淘汰了笨重的升压变压器和高频阻流圈，采用功率闭环反馈技术，控制精度小于0.1%�

2、全自动点火 气路智能控制，实现软件点火，更方便�

3.安全冷却水保护、氩气保护、过压、过流、灭弧保护更安全、�br /> 4.输出功率自动匹配调谐，功率参数软件程序设定、�br /> 5.分光器内充氩气，使波长在180nm的硫�?89nm的Sn得到很灵敏的测量效果�

6.优良的光学系统，先进的控制系统，保证峰位定位准确，信背比优良、极小的基体效应、�br /> 7.测量范围宽，超微量到常量的分�?动态线性范�?�?个数量级、�br /> 8.检出限低，大多数元素的检出限可达ppb级、�br /> 9.良好的测量精度，稳定性相对标准偏差RSD�?.5%�?ppm），国家A级标准（JJG768-2005）�

10.氩气消耗量�?4L/min

技术参数：

射频发生器（RF�

(1)电路类型：自激振荡电路，全自动点火，精密高压开关电源供电系统，所有功能实现电脑软件控�?点火、熄火、功率等参数设置)；实时功率控制；自动匹配调谐；光室恒温；�

(2) 工作频率�?0.68MHZ��0.05%

(3) 频率稳定性：<0.1%

(4) 输出功率�?00�?600w

(5) 输出功率稳定性：�?.3%

(6) 电磁场泄漏辐射强度：距机�?00mm 电场强度E:<2v>

进样装置:

(1) 输出工作线圈内径25mm�?�

(2) 炬管：外�?0mm的石英炬�

(3) 同轴型喷雾器外径6mm

(4) 双筒形雾室外�?5mm

(5) 氩气流量计规格和载气压力表规格：

①� 等离子体流量计（100-1000）L/h �?1.6-16L/min)

②� 辅助气流量计�?-60）L/h �?0.1-1L/min)

③� 载气流量计（6-60）L/h �?0.1-1L/min)

④� 载气稳压阀�?-0.4MPa�

仪器内设氩气二次稳压阀�?.3MPa�

测光装置:

(1) 光电倍增管规格： R212UH

(2) 光电倍增管负高压�?00-1000V ，稳定�?0.05%

(3) 光电倍增管电流测量范围：10-12 -10-4A

(4) 信号采集为V/F交换�?mV对应100Hz

分光�?
(1) 光路:Czerny-Turner
(2) 焦距: 1000mm
(3) 光栅规格：离子刻蚀全息光栅，刻线密�?600�?mm�

刻线面积: 80��110mm，线色散率倒数�?.26nm
(4) 波长范围�?90-500nm
(5) 分辨玆� �?.008nm
(6) 扫描波长范围3600�?mm 扫描波长范围�?90-500nm
(7) 步进电机驱动最小步距：0.0006nm
(8) 入射狭缝�?0��m 出射狭缝�?5��m
(9) 发射镜规格：�?8 �� 105 �� 16）mm
(10) 透镜��30�?�?成像

整机技术指标：

(1) 测量波长范围�

180-500nm 3600L/mm光栅

(2) 测量精度（重复性）：平均相对标准偏差RSD�?%

(3) 测量稳定性：平均相对标准偏差RSD�?

(4) 检出下限：亚PPb�