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EZ4匀胶机
微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
EZ4匀胶机图片

型号: EZ4-S型铝合金外壳
品牌: LEBO(雷博)
产地: 江阴
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型号: EZ4-S型铝合金外壳
品牌: LEBO(雷博)
产地: 江阴
半岛游戏平台官网入口网址 类型: 匀胶机
半岛bd体育手机客户端 介绍

半岛bd体育手机客户端 性能介绍:

◆结构紧凑、简单易用,可多步操作,性能稳定

◆从手套箱过渡舱内方便进出,最大推荐可旋涂4寸圆形底物

◆文本显示屏,清晰的功能按键,中英文界面可选择

◆程控操作,可提供单步或多步程序旋涂运行,最多可运行5步不同转速及加速度的旋涂程序

◆性能稳定,工业级直流马达,单片机控制,转轴旋转稳定,重复性好,精度高

◆设计新颖,不易进胶堵胶设计,旋涂内腔易拆卸清理更换

半岛bd体育手机客户端 参数说明:

● 耐腐蚀、易清洁注塑内腔,HDPE材料真空吸盘

●耐溶剂性PC材料透明盖,恒定扭矩定位功能

●75W直流无刷电机,单片机控制

●可处理碎片(小于1cm)至4英寸圆晶底物

●转速可控范围:100-9999rpm,转速分辨率:1rpm

●加速度可控范围:100-9999rpm/s

●最大单步步长:3000s,时间分辨率:1s

●可进行多步程序运行,最多可编辑5组5步程序

●宽输入电压适用:AC100-230V输入

半岛bd体育手机客户端 外型尺寸:210 (W) * 265 (D) * 213 (H)

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