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AC200-S-PP伺服匀胶机
微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
AC200-S-PP伺服匀胶机图片

型号: AC200-S-PP
品牌: LEBO(雷博)
产地: 江阴
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型号: AC200-S-PP
品牌: LEBO(雷博)
产地: 江阴
半岛游戏平台官网入口网址 类型: 匀胶机
半岛bd体育手机客户端 介绍

半岛bd体育手机客户端 性能介绍:

◆采用PP外壳设计,耐腐蚀易清洁

◆采用伺服电机驱动

◆内腔采用下抽风和套盘式真空吸盘

半岛bd体育手机客户端 参数

●内腔采用易清洁、耐腐蚀超高分子材料(HDPE)

●旋涂程序:最多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒

●转动速度:0-10,000rpm(更高速可选)

●旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)

●马达旋涂转速稳定性能误差:< ±1rpm(AC200-SE); <±0.1rpm(AC200-PE)

●转速调节精度及重复性:1rpm(AC200-SE); 0.1rpm(AC200-PE)

●AC200-PE另带真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能

●工艺时间设定:0-3,000sec/step,时间设置精度:0.1sec

●支持wafer尺寸:碎片至200mm(8”圆晶)

●旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)

半岛bd体育手机客户端 外型尺寸:

●480mm(D) * 360mm(W) * 350mm(H)

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